542系列 高精度光柵式測微儀542-715DC LGH-1010-B-EH

● 在10mm的寬范圍內實現0.005μm或0.01μm的高分辨率和高精度，可與激光干涉儀相媲美。

● 緊湊的機身可以極大地促進設備本身的小型化，不僅是測量高精度零件和高精度定位和控

制設備的長度測量傳感器的理想選擇，也適于用作測量設備的標準量規(guī)。

● 另有低測力規(guī)格產品：根據用途可以選擇低測力規(guī)格產品，可以測量容易變形的工件及高

性能膠片等。

● LGH系列是帶有專用計數器的套裝規(guī)格。

● 配備新采用的光電式反射型線直線

柵尺，以低廉的價格實現了0.01μm

的高分辨率、示值誤差0.2μm和

10mm的寬測量范圍。

● 響應速度提高到以往產品的2.8倍

(250mm/s?700mm/s)，兼顧高精

度和高速性。