石英振動體清洗機[高頻率]｜W-357-1MQG-SKC

石英振動體類型

下一代清洗技術，實現低損害和高清潔度

在這種方法中，通過在石英振動體上疊加超聲波對半導體晶圓進行清洗。

與批量清洗和流水清洗相比，可以減少化學品的使用量，由于只有石英玻璃與液體接觸，沒有墊片等橡膠材料與液體接觸，因此能保持較高的清潔度。

石英振動體有不同的形狀，以適應不同的用途，能夠根據需要進行有效的清洗，如低損傷清洗、大面積清洗、斜面（邊緣表面）和缺口（晶圓邊緣表面的缺口）的清洗等。

特長

對具有細微結構的晶片進行低損傷清洗

■通過在石英振動元件上疊加超聲波對半導體晶片進行清洗。

將超聲波振動從石英振動元件通過化學溶液傳播到半導體晶片上，接觸區的化學溶液振動，加速去除表面污染。

■清潔度高，對半導體晶圓的損害最小。

與使用橡膠材料（如墊片）的設備相比，使用石英與化學溶液接觸，可以確保清潔，而不會有橡膠溶出。

■震蕩器冷卻功能通過用氣體（如氮氣）冷卻震蕩器，可以實現穩定的連續工作，沒有頻率波動。

冷卻還能確保沒有溫度的突然變化，從而延長使用壽命。

用途

膠體殘留物的清除

封邊和灰化后的聚合物清除

柵電極極清洗

CMP后的清洗