用途（槽式清洗機(jī)）

?磁頭清洗

?晶圓清洗

?藍(lán)寶石晶圓清洗

?加工后的半導(dǎo)體器件的清洗

?硬盤清洗

?容易受損的鋁和鏡面拋光的產(chǎn)品等的清洗。

對(duì)象物體

對(duì)象物體

?微顆粒  

?助焊劑  

?藥液

特長(zhǎng)

?數(shù)字控制確保穩(wěn)定的振蕩。

?各種接口能夠?yàn)椴煌目刂菩枨筇峁┻B接。

?超聲波輸出可以以1W為單位進(jìn)行調(diào)整。

規(guī)格

發(fā)振器

類型 W-357BM-600 W-357BM-1200

發(fā)振方式 單頻振蕩

額定輸出 600W 1200W

輸出變量范圍 100W~600W 200W~1200W

標(biāo)稱振蕩頻率 1MHｚ

電源輸入 AC200V?240V

單相 50/60Hz 1200VA AC200V?240V

單相 50/60Hz 2400VA

顯示 VFD（熒光顯示管）16個(gè)字符×2行

外接界面 模擬輸出 4-20mA電流輸出

觸點(diǎn)輸出 3點(diǎn) 報(bào)警輸出、振蕩檢測(cè)輸出、電源接通輸出

外部驅(qū)動(dòng)器輸入 2點(diǎn) 傳感器輸入，遠(yuǎn)程輸入

RS485通信 MODBUS?協(xié)議，RTU模式*1

外部尺寸（不包括凸出部分，包括橡膠腳）

WxDxHmm 220×360×143 360×360×143　

質(zhì)量 5kg 7kg

●周圍工作環(huán)境：溫度：5~40℃，濕度：5~80%（無(wú)凝露）

●電源線長(zhǎng)度：3米

振蕩器單元

可根據(jù)要求提供定制的傳感器單元。

?最大允許的輸入：600 W / 1200 W / 1800 W / 2400 W / 3000 W / 3600 W

?支持的晶圓：6" / 8" / 12"

F型 ｜ 振板式

F型 ｜ 振板式

類型

W-357BM-600F

W-357BM-1200F

發(fā)振器類型 W-357BM-600 W-357BM-1200

最大的輸入許可 600W 1200W

標(biāo)稱驅(qū)動(dòng)頻率 1MHｚ

有效照射面積

W×Dmm 135×160 272×154

外部尺寸

W×D×Hmm（不包括布線和管道工程） 250×220×68 355×245×68

材質(zhì) 板：SUS316L　表面電解研磨

質(zhì)量 3.3kg 7kg

支持的晶圓尺寸 6 inch 8 inch

換能器線長(zhǎng) 5m 5m×2

●接液部材質(zhì)：振動(dòng)板：SUS316L

●使用液溫度範(fàn)囲：5～80℃

●振動(dòng)子：PZT

S型 ｜ 槽型

S型 ｜ 槽型

類型 W-357BM-600S W-357BM-1200S

發(fā)振器類型 W-357BM-600 W-357BM-1200

最大的輸入許可 600W 1200W

標(biāo)稱驅(qū)動(dòng)頻率 1MHｚ

有效照射面積

W×Dmm 135×160 135×160　2處

尺寸

W×D×Hmm

（不包括突出的部分） 外形 302×296×372(包括橡膠腳） 496×336×372(包括橡膠腳）

內(nèi)槽 248×236×252 442×276×252

材質(zhì) 水槽：SUS316L 墊片：氟橡膠，PTFE

排水閥 1/2 inch

質(zhì)量 11.6kg 18kg

支持的晶圓尺寸 6 inch 6 inch ×2

換能器線長(zhǎng) 5m 5m×2

●接液部件材料：振板、水槽：SUS316L 墊片：PTFE 供水/排水管接頭：SUS304

●工作液體溫度范圍：5-80°C

●換能器：PZT