用途（槽式清洗機(jī)）
?磁頭清洗
?晶圓清洗
?藍(lán)寶石晶圓清洗
?加工后的半導(dǎo)體器件的清洗
?硬盤清洗
?容易受損的鋁和鏡面拋光的產(chǎn)品等的清洗。
對(duì)象物體
對(duì)象物體
?微顆粒
?助焊劑
?藥液
特長(zhǎng)
?數(shù)字控制確保穩(wěn)定的振蕩。
?各種接口能夠?yàn)椴煌目刂菩枨筇峁┻B接。
?超聲波輸出可以以1W為單位進(jìn)行調(diào)整。
規(guī)格
發(fā)振器
類型 W-357BM-600 W-357BM-1200
發(fā)振方式 單頻振蕩
額定輸出 600W 1200W
輸出變量范圍 100W~600W 200W~1200W
標(biāo)稱振蕩頻率 1MHｚ
電源輸入 AC200V?240V
單相 50/60Hz 1200VA AC200V?240V
單相 50/60Hz 2400VA
顯示 VFD（熒光顯示管）16個(gè)字符×2行
外接界面 模擬輸出 4-20mA電流輸出
觸點(diǎn)輸出 3點(diǎn) 報(bào)警輸出、振蕩檢測(cè)輸出、電源接通輸出
外部驅(qū)動(dòng)器輸入 2點(diǎn) 傳感器輸入，遠(yuǎn)程輸入
RS485通信 MODBUS?協(xié)議，RTU模式*1
外部尺寸（不包括凸出部分，包括橡膠腳）
WxDxHmm 220×360×143 360×360×143
質(zhì)量 5kg 7kg
●周圍工作環(huán)境：溫度：5~40℃，濕度：5~80%（無(wú)凝露）
●電源線長(zhǎng)度：3米
振蕩器單元
可根據(jù)要求提供定制的傳感器單元。
?最大允許的輸入：600 W / 1200 W / 1800 W / 2400 W / 3000 W / 3600 W
?支持的晶圓：6" / 8" / 12"
F型 ｜ 振板式
F型 ｜ 振板式
類型
W-357BM-600F
W-357BM-1200F
發(fā)振器類型 W-357BM-600 W-357BM-1200
最大的輸入許可 600W 1200W
標(biāo)稱驅(qū)動(dòng)頻率 1MHｚ
有效照射面積
W×Dmm 135×160 272×154
外部尺寸
W×D×Hmm（不包括布線和管道工程） 250×220×68 355×245×68
材質(zhì) 板：SUS316L 表面電解研磨
質(zhì)量 3.3kg 7kg
支持的晶圓尺寸 6 inch 8 inch
換能器線長(zhǎng) 5m 5m×2
●接液部材質(zhì)：振動(dòng)板：SUS316L
●使用液溫度範(fàn)囲：5～80℃
●振動(dòng)子：PZT
S型 ｜ 槽型
S型 ｜ 槽型
類型 W-357BM-600S W-357BM-1200S
發(fā)振器類型 W-357BM-600 W-357BM-1200
最大的輸入許可 600W 1200W
標(biāo)稱驅(qū)動(dòng)頻率 1MHｚ
有效照射面積
W×Dmm 135×160 135×160 2處
尺寸
W×D×Hmm
（不包括突出的部分） 外形 302×296×372(包括橡膠腳） 496×336×372(包括橡膠腳）
內(nèi)槽 248×236×252 442×276×252
材質(zhì) 水槽：SUS316L 墊片：氟橡膠，PTFE
排水閥 1/2 inch
質(zhì)量 11.6kg 18kg
支持的晶圓尺寸 6 inch 6 inch ×2
換能器線長(zhǎng) 5m 5m×2
●接液部件材料：振板、水槽：SUS316L 墊片：PTFE 供水/排水管接頭：SUS304
●工作液體溫度范圍：5-80°C
●換能器：PZT
