主要特點

利用白光干涉的非接觸式高精度精細表面紋理測量→3D形狀測量、3D粗糙度測量

高度測量精度與光學放大倍率無關

即使使用低倍率鏡頭也可進行高 Z 分辨率測量

高縱橫比測量

支持高縱橫比形狀測量，檢測不依賴于光學系統的數值孔徑

抗干擾振動的高魯棒性

小巧輕便

554-001

WLI-unit-003

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554-003

WLI-unit-010